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“湿法刻蚀?”徐端仪没明白,沈岳山为什么会选择这个发展方向。
“对,起码就目前来看,应该走这条技术路线。当然长远来看还是要发展EUV光刻,但目前的技术还不成熟,在这上面死磕只是浪费时间。”
“请问原因呢?”
沈岳山讲不出能明说的原因。他得出这样的结论,一是因为EUV是二十年后才有的技术,一定不是现在的研究方向;二是因为干法刻蚀是霓虹国主攻的方向,而霓虹国在后来的光刻机竞争中是日渐没落的。
所以湿法刻蚀成了唯一的可能。
沈岳山思考了一阵,推托道:“原因我不方便说,但是百分之百,湿法刻蚀是最适应当前环境的。”
徐端仪和王大忠两人都觉得神了,这两个一个大学校长,一个专攻这方向的专家,都没敢说要选择哪种技术路线,就是现在问尼康的技术顾问,他们也不敢说哪种路线百分百就是对的。
可沈岳山却有胆量说这话,看起来还很自信。
两人不知是否该相信,顿在原地。
“听我的,”沈岳山已经确定了,“我要入股,然后在现在的技术基础上着手湿法刻蚀的研究。你们要是心里没底,就当是我邀请你们来帮我研发就行了,最后这路子没搞成,也不怪你们,只能怪我的路子选错了。”
徐端仪听罢,有所心动。
他不知沈岳山究竟凭借什么得出这样的判断,但对方散发出来的自信,让他不得不也有所感染。
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